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    tft制造原理與簡單制造流程

    2017年12月05日 08:42 ? 次閱讀

      何謂 TFT-LCD? TFT-LCD 即是 Thin-Film Transistor Liquid-Crystal Display 的縮寫(薄膜電晶體液晶顯示器)TFT-LCD 如何點 亮? 簡單說, TFT-LCD 面板可視為兩片玻璃基板中間夾著一層液晶, 上層的玻璃基板是與彩色濾光片(Color Filter) 結合,而下層的玻璃則有電晶體鑲嵌于上。 當電流通過電晶體產生電場變化,造成液晶分子偏轉,借以改變光線 的偏極性,再利用偏光片決定畫素(Pixel)的明暗狀態。 此外,上層玻璃因與彩色濾光片貼合,形成每個畫素(Pixel) 各包含紅藍綠三顏色,這些發出紅藍綠色彩的畫素便構成了面板上的影像畫面。 TFT-LCD 的三段主要的制程: 的三段主要的制程: 前段 Array 前段的 Array 制程與半導體制程相似,但不同的是將薄膜電晶體制作于玻璃上,而非矽晶圓上。 中段 Cell 中段的 Cell ,是以前段 Array 的玻璃為基板,與彩色濾光片的玻璃基板結合,并在兩片玻璃基板間灌入液晶 (LC)。 模組組裝) 后段 Module Assembly (模組組裝 模組組裝 后段模組組裝制程是將 Cell 制程后的玻璃與其他如背光板、電路、外框等多種零組件組裝的生產作業。

     tft制造原理與簡單制造流程

      TFT-LCD主要的三段制程:

      首先是前段Array

      前段部分的Array 制程和半導體制程相似,但是不同的是將薄膜電晶體制作在玻璃之上,而不是矽晶圓上面。

      然后是中段Cell

      中段部分的Cell ,是以前段的Array玻璃作為基板,和彩色的濾光片玻璃基板相結合,并且在兩片玻璃基板之間灌入液晶(LC)。

      最后是后段Module Assembly (模組組裝)

      后段模組的組裝制程則是將Cell制程之后的玻璃和其他的如電路、外框、背光板等等多種零組件組裝生產的作業。

      1.陣列制程(array)

      1)一片表面光滑,沒有任何雜質的玻璃,是制造TFT玻璃基板最主要的原料。在制作之前,需用特殊的冼凈液,將玻璃洗得干干凈凈,然后脫水,甩干。

      2)要使玻璃基板鍍上金屬薄膜,需先將金屬材料放在真空室內,讓金屬上面的特殊氣體產生電漿后,金屬上的原子就會被撞向玻璃,然后就形成一層層的金屬薄膜了。

      3)鍍完金屬膜后,我們還要鍍上一層不導電層與半導電層,在真空室內,先將玻璃板加溫,然后由高壓電的噴灑器噴灑特殊氣體,讓電子與氣體產生電漿,經過化學反應后,玻璃上就形成了不導電層與半導體層。

      4)薄膜形成后,我們要在玻璃上制作電晶體的圖案。首先,要進入黃光室噴上感光極強的光阻液,然后套上光罩照射藍紫光進行曝光,最后送到顯影區噴灑顯影液,這樣可以去除照光后的光阻,還可以讓光阻層定型哦。

      5)光阻定型后,我們可用蝕刻進行濕式蝕刻,將沒有用的薄膜露出,也可用電漿的化學反應進行干式蝕刻,蝕刻后再將留下的光阻以溜液去除,最后就產生電晶體所需要的電路圖案了。

      6)要形成可用的薄膜電晶體,需要重復清洗,鍍膜,上光阻,曝光,顯影,蝕刻,去光阻等過程,一般來說,要制造TFT-LCD,就要重復5到7次。

      tft制造原理與簡單制造流程

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    發表于 2008-10-25 10:37 ? 1669次閱讀
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